|
Lecturer(s)
|
-
Heger Václav, doc. Ing. Ph.D.
|
|
Course content
|
Plasma definition and the description of its unique properties. Definition of basic plasma particles. Description of characteristics of basic collisions and the energy transfer during binary collisions. Gas breakdown and single discharge ignition. Basic characteristics of glow and arc discharge (DC and pulsed). Plasma interaction with a solid surface. Processes of magnetron sputtering and arc evaporation and their comparison with the process of vaporization and chemical vapor deposition. An overview of application areas utilizing a discharge plasma
|
|
Learning activities and teaching methods
|
- Contact hours
- 26 hours per semester
- Preparation for an examination (30-60)
- 35 hours per semester
- Presentation preparation (report) (1-10)
- 15 hours per semester
|
| prerequisite |
|---|
| Knowledge |
|---|
| popsat základní fyzikální jevy probíhající v pevných látkách a plynech |
| pracovat se základními vztahy a veličinami elektromagnetického |
| Skills |
|---|
| použít odbornou literaturu pro řešení daného problému |
| prezentovat získané poznatky a výsledky písemnou a ústní formou |
| Competences |
|---|
| N/A |
| N/A |
| learning outcomes |
|---|
| Knowledge |
|---|
| vysvětlit základní principy plazmových technologií |
| identifikovat a vysvětlit hlavní výhody a nevýhody jednotlivých technologií |
| popsat a charakterizovat důležité parametry jednotlivých plazmových metod |
| Skills |
|---|
| vyhodnotit a zvolit optimální plazmovou technologii pro konkrétní typ úlohy |
| Competences |
|---|
| N/A |
| N/A |
| teaching methods |
|---|
| Knowledge |
|---|
| Lecture |
| Practicum |
| Skills |
|---|
| Lecture |
| Practicum |
| Competences |
|---|
| Lecture |
| Practicum |
| assessment methods |
|---|
| Knowledge |
|---|
| Test |
| Skills |
|---|
| Test |
| Competences |
|---|
| Test |
|
Recommended literature
|
-
Anders, André. Cathodic arcs : from fractal spots to energetic condensation. New York : Springer, 2008. ISBN 978-0-387-79107-4.
-
Karl Jousten. Handbook of Vacuum Technology, 2nd Edition. ISBN 978-3527413386.
-
Ohring, Milton. Materials science of thin films : deposition on structure. 2nd ed. San Diego : Academic Press, 2002. ISBN 0-12-524975-6.
-
Westwood, William D. Sputter deposition. New York : AVS, 2003. ISBN 0-7354-0105-5.
-
Yuri P. Raizer. Gas discharge physics. ISBN 978-3-642-64760-4.
|