|
Vyučující
|
-
Hobl Jan, prof. RNDr. CSc.
|
|
Obsah předmětu
|
Elementární teorie výboje (Langevinova rovnice, plazma ve stacionárním a nestacionárním elektrickém poli). Průraz plynu a zapálení samostatného výboje (Townsendova teorie výboje, Paschenův zákon, zapálení výboje střídavým elektrickým polem). Základní charakteristika doutnavých a obloukových výbojů. Stejnosměrné doutnavé výboje (typická struktura, oblast katodového spádu). Radiofrekvenční výboje (vlastní předpětí RF elektrody, Koenig-Maisselův model, náhradní elektrický obvod). Interakce plazmatu s povrchem pevné látky (interakce iontů s povrchy, sekundární emise elektronů). Chemické reakce v plazmatu a na povrchu pevných látek (entalpie chemických reakcí, entropie systému, Gibbsův potenciál, chemická rovnováha, Guldberg-Waageův zákon, konstanta chemické rovnováhy, procesy na povrchu pevných látek a jejich kinetika).
|
|
Studijní aktivity a metody výuky
|
Přednáška, Cvičení
- Kontaktní výuka
- 65 hodin za semestr
- Příprava na zkoušku [10-60]
- 60 hodin za semestr
- Příprava na souhrnný test [6-30]
- 35 hodin za semestr
|
| Předpoklady |
|---|
| Odborné znalosti |
|---|
| vyjmenovat a popsat základní fyzikální veličiny z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
| formulovat nejdůležitější vztahy z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
| definovat základní matematické pojmy matematické analýzy ve vícerozměrném prostoru, lineární algebry a teorie pravděpodobnosti |
| Odborné dovednosti |
|---|
| využít základní fyzikální vztahy při řešení úloh z mechaniky, termodynamiky, kmitů a vlnění, elektřiny, magnetismu, elektromagnetického vlnění, elektrických obvodů, atomové fyziky, fyziky plazmatu |
| aplikovat základní matematické pojmy matematické analýzy ve vícerozměrném prostoru, lineární algebry a teorie pravděpodobnosti při odvozování pokročilých vztahů mezi fyzikálními veličinami |
| měřit fyzikální veličiny popisující elektrické obvody a magnetická pole |
| Obecné způsobilosti |
|---|
| mgr. studium: používají své odborné znalosti, odborné dovednosti a obecné způsobilosti alespoň v jednom cizím jazyce, |
| mgr. studium: samostatně a odpovědně se na základě rámcového zadání rozhodují v souvislostech jen částečně známých, |
| Výsledky učení |
|---|
| Odborné znalosti |
|---|
| formulovat fyzikální zákony klíčové pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce |
| popsat procesy v plazmatu a na povrchu pevných látek ponořených do plazmatu |
| zhodnotit praktické důsledky fyzikálních zákonů klíčových pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce |
| Odborné dovednosti |
|---|
| použít fyzikální zákony klíčové pro zapálení výboje, jeho strukturu, interakce plazmatu s povrchy pevných látek a chemické reakce pro popis procesů v plazmatu a na povrchu pevných látek ponořených do plazmatu |
| navrhnout aplikaci různých typů výbojů s ohledem na použitý zdroj napětí a procesní parametry |
| aplikovat uvedené koncepty v jiných oblastech kde se používají fyzikální technologie |
| Obecné způsobilosti |
|---|
| mgr. studium: srozumitelně a přesvědčivě sdělují odborníkům i širší veřejnosti vlastní odborné názory, |
| Vyučovací metody |
|---|
| Odborné znalosti |
|---|
| Přednáška založená na výkladu, |
| Cvičení (praktické činnosti), |
| Odborné dovednosti |
|---|
| Přednáška založená na výkladu, |
| Cvičení (praktické činnosti), |
| Obecné způsobilosti |
|---|
| Přednáška založená na výkladu, |
| Cvičení (praktické činnosti), |
| Hodnotící metody |
|---|
| Odborné znalosti |
|---|
| Kombinovaná zkouška, |
| Odborné dovednosti |
|---|
| Kombinovaná zkouška, |
| Obecné způsobilosti |
|---|
| Kombinovaná zkouška, |
|
Doporučená literatura
|
-
Wiley-Interscience Publication,. New York, 1994.
-
Cuomo, J. J.; Rossnagel, Stephen M.; Westwood, William D. Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions. Park Ridge : Noyes Publications, 1990. ISBN 0-8155-1220-1.
-
Chapman, Brian. Glow discharge processes : sputtering and plasma etching. New York : John Wiley & Sons, 1980. ISBN 0-471-07828-X.
-
Konuma, Mitsuharu. Plasma techniques for film deposition. Harrow : Alpha Science International Ltd., 2005. ISBN 1-84265-151-X.
-
Lieberman, Michael A.; Lichtenberg, Allan J. Principles of plasma discharges and materials processing. c. 1994. New York : John Wiley & Sons, 1994. ISBN 0-471-00577-0.
-
Vlček, J. Fyzikálně-chemické základy plazmových technologií.
|