|
Vyučující
|
-
Heger Václav, doc. Ing. Ph.D.
|
|
Obsah předmětu
|
Definice plazmatu a popis jeho unikátních vlastností. Definice základních částic plazmatu. Popis základní charakteristiky srážek, přenos energie při binárních srážkách. Průraz plynu a zapálení samostatného výboje. Základní charakteristiky doutnavých a obloukových výbojů (stejnosměrné i pulzní). Interakce plazmatu s povrchem pevné látky. Procesy magnetronového naprašování a obloukového odpařování a jejich porovnání s procesy napařování a chemické depozice z plynné fáze. Přehled oblastí aplikací využívajících výbojové plazma.
|
|
Studijní aktivity a metody výuky
|
- Kontaktní výuka
- 26 hodin za semestr
- Příprava na zkoušku [10-60]
- 35 hodin za semestr
- Příprava prezentace (referátu) [3-8]
- 15 hodin za semestr
|
| Předpoklady |
|---|
| Odborné znalosti |
|---|
| popsat základní fyzikální jevy probíhající v pevných látkách a plynech |
| pracovat se základními vztahy a veličinami elektromagnetického |
| Odborné dovednosti |
|---|
| použít odbornou literaturu pro řešení daného problému |
| prezentovat získané poznatky a výsledky písemnou a ústní formou |
| Obecné způsobilosti |
|---|
| bc. studium: uplatňuje při řešení problémů vhodné metody a dříve získané vědomosti a dovednosti, kromě analytického a kritického myšlení využívá i myšlení tvořivé s použitím představivosti a intuice, |
| bc. studium: kriticky přistupuje ke zdrojům informací, informace tvořivě zpracovává a využívá při svém studiu a praxi, |
| Výsledky učení |
|---|
| Odborné znalosti |
|---|
| vysvětlit základní principy plazmových technologií |
| identifikovat a vysvětlit hlavní výhody a nevýhody jednotlivých technologií |
| popsat a charakterizovat důležité parametry jednotlivých plazmových metod |
| Odborné dovednosti |
|---|
| vyhodnotit a zvolit optimální plazmovou technologii pro konkrétní typ úlohy |
| Obecné způsobilosti |
|---|
| mgr. studium: samostatně a odpovědně se rozhodují v nových nebo měnících se souvislostech nebo v zásadně se vyvíjejícím prostředí s přihlédnutím k širším společenským důsledkům jejich rozhodování, |
| bc. studium: srozumitelně a přesvědčivě sdělují odborníkům i laikům informace o povaze odborných problémů a vlastním názoru na jejich řešení, |
| Vyučovací metody |
|---|
| Odborné znalosti |
|---|
| Přednáška založená na výkladu, |
| Cvičení (praktické činnosti), |
| Odborné dovednosti |
|---|
| Přednáška založená na výkladu, |
| Cvičení (praktické činnosti), |
| Obecné způsobilosti |
|---|
| Přednáška založená na výkladu, |
| Cvičení (praktické činnosti), |
| Hodnotící metody |
|---|
| Odborné znalosti |
|---|
| Test, |
| Odborné dovednosti |
|---|
| Test, |
| Obecné způsobilosti |
|---|
| Test, |
|
Doporučená literatura
|
-
Anders, André. Cathodic arcs : from fractal spots to energetic condensation. New York : Springer, 2008. ISBN 978-0-387-79107-4.
-
Karl Jousten. Handbook of Vacuum Technology, 2nd Edition. ISBN 978-3527413386.
-
Ohring, Milton. Materials science of thin films : deposition on structure. 2nd ed. San Diego : Academic Press, 2002. ISBN 0-12-524975-6.
-
Westwood, William D. Sputter deposition. New York : AVS, 2003. ISBN 0-7354-0105-5.
-
Yuri P. Raizer. Gas discharge physics. ISBN 978-3-642-64760-4.
|